[发明专利]微机械结构及其制造方法有效
| 申请号： | 201510463020.7 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN105314587B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | U·施密德;T·弗里施穆斯;P·伊尔斯格勒;T·格里勒;D·莫勒;U·赫德尼格;M·卡恩;G·德尼弗尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微机械结构包括衬底和被布置在该衬底处的功能结构。该功能结构包括功能区，该功能区响应于作用在该功能区上的力相对于衬底可偏离。该功能结构还包括导电基层，该导电基层包括导电基层材料。该导电基层材料在硬化部分中分段地包括碳材料，从而碳材料在该导电基层材料中的碳浓度是至少1014/cm3，并且至少为邻近硬化部分的导电基层材料中的碳浓度的103倍。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机械结构，包括：衬底；以及功能结构，其被布置在所述衬底处；其中所述功能结构包括功能区，所述功能区响应于作用在所述功能区上的力相对于所述衬底可偏离；其中所述功能结构包括导电基层，所述导电基层具有导电基层材料；以及其中所述导电基层材料在硬化部分中分段地包括碳材料，从而所述导电基层材料中的所述碳材料的碳浓度是至少1014颗粒/cm3，并且至少为邻近所述硬化部分的所述导电基层材料中的碳浓度103倍。
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