[发明专利]一种柔性触觉传感阵列结构

摘要

一种柔性触觉传感阵列结构，属于柔性触觉传感阵列技术领域。通过集成的摩擦电触觉传感阵列，实现对触觉信号的采集。包括由多个摩擦电传感单元构成的摩擦电传感阵列以及上接地电极、下接地电极组成。传感单元由上摩擦层、上绝缘基底、下摩擦层、下绝缘基底以及上感应电极、下感应电极组成。上绝缘基底、下绝缘基底为聚酰亚胺薄膜；表面镀金的微米阵列结构作为上摩擦层，位于上绝缘基底背面，下绝缘基底同时兼做下摩擦层。本发明柔性触觉传感阵列利用摩擦电传感单元提供主动传感信号，具备采集能量完成自供电的能力。接地电极实现双单电极的信号采集模式，能够有效简化器件结构，减小相邻单元之间的信号干扰，有效提高分辨率。

主权项

1.一种柔性触觉传感阵列结构,其特征在于通过集成的摩擦电触觉传感阵列，实现对触觉信号的采集；包括由多个摩擦电传感单元构成的摩擦电传感阵列以及上接地电极、下接地电极组成；传感单元由绝缘基底、上摩擦层、下摩擦层以及上感应电极、下感应电极组成，绝缘基底为上绝缘基底和下绝缘基底；具有上绝缘基底，下绝缘基底，上摩擦层，上感应电极阵列，下感应电极阵列，上接地电极，下接地电极；上绝缘基底、下绝缘基底为聚酰亚胺薄膜；表面镀金的微米阵列结构作为上摩擦层，位于上绝缘基底背面，下绝缘基底同时兼做下摩擦层；上感应电极阵列、上接地电极位于上绝缘基底正面，由同一层金属铜薄膜图形化而成，下感应电极阵列、下接地电极位于下绝缘基底背面，由同一层金属铜薄膜图形化而成；上感应电极阵列、下感应电极阵列分别构成横、纵阵列，对应于各传感单元，上接地电极、下接地电极则与上感应电极阵列、下感应电极阵列绝缘，并填充于上感应电极阵列、下感应电极阵列间隙，形成对上感应电极阵列、下感应电极阵列的包围。