[发明专利]微波电路用薄膜电阻调节装置及其调节方法在审
| 申请号： | 201510464264.7 | 申请日： | 2015-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN105719783A | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 王斌;胡莹璐;宋振国;曹乾涛 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 |
| 主分类号： | H01C17/22 | 分类号： | H01C17/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266555 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微波电路用薄膜电阻调节装置及调节方法。本发明涉及半导体加工技术领域。该装置包括电源、与电源并联的电压表、电流表、电阻表、第一平衡电阻、第二平衡电阻、第一探针、第二探针和第三探针；电流表分别与电源负极和第一探针串联；电阻表与待调节薄膜电阻并联；第一平衡电阻分别与电源正极和第二探针串联；第二平衡电阻分别与电源正极和第三探针串联；两平衡电阻阻值相同且大于待调节薄膜电阻设计值的1000倍。该方法采用阳极氧化法对薄膜电阻的调整过程进行闭环控制调节。本发明可准确、高效地调整微波模块用薄膜电阻的阻值，在提高良品率的同时，提高了制作效率，且使用方便灵活、操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 电路 薄膜 电阻 调节 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种微波电路用薄膜电阻调节装置，其特征在于：包括电源(5)、电压表(6)、电流表(7)、电阻表(8)、第一平衡电阻(9)、第二平衡电阻(10)、第一探针(12)、第二探针(13)和第三探针(14)；所述电压表(6)与所述电源(5)并联；所述电流表(7)分别与所述电源(5)的负极和第一探针(12)串联；所述电阻表(9)与待调节薄膜电阻(11)并联；所述第一平衡电阻(9)分别与所述电源(5)的正极和第二探针(13)串联；所述第二平衡电阻(10)分别与所述电源(5)的正极和第三探针(14)串联；所述第一平衡电阻(9)和第二平衡电阻(10)的阻值相同，第一平衡电阻(9)和第二平衡电阻(10)的阻值大于待调节薄膜电阻(11)设计值的1000倍。
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