[发明专利]具有电性补偿的微机电元件及其读取电路在审
| 申请号： | 201510464597.X | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN106403922A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 林炯彣;罗烱成;吴嘉昱 | 申请（专利权）人： | 立锜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5776 | 分类号： | G01C19/5776 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 张一军,姜劲 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提出一种具有电性补偿的微机电元件，包含一固定结构，具有至少一固定电极以及至少一补偿固定电极；一活动结构，具有一活动电极以及一补偿活动电极，活动电极与固定电极形成一感测电容，补偿活动电极与补偿固定电极形成一补偿电容；一补偿电路，以补偿电容所产生的补偿讯号对感测电容所产生的感测讯号进行电性补偿；其中，该感测电容和该补偿电容并非构成差分电容；且该补偿电容的尺寸是该感测电容尺寸的一个小于1的比例值。另外，本发明还提出一种具有电性补偿的微机电元件的读取电路。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 补偿 微机 元件 及其 读取 电路 | ||
【主权项】：
一种具有电性补偿的微机电元件，其特征在于，包含：一固定结构，具有至少一固定电极以及至少一补偿固定电极；一活动结构，具有至少一活动电极以及至少一补偿活动电极，该至少一活动电极对应于该至少一固定电极而设置，以形成至少一感测电容，该至少一补偿活动电极对应于该至少一补偿固定电极而设置，以形成至少一补偿电容；一补偿电路，分别耦接于该感测电容以及该补偿电容，并以补偿电容所产生的补偿讯号对感测电容所产生的感测讯号进行电性补偿；其中，该感测电容和该补偿电容并非构成差分电容。
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