[发明专利]硅片收纳盒在审
| 申请号： | 201510464964.6 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN105161447A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 杨红 | 申请（专利权）人： | 江苏奥能光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 陆华君 |
| 地址： | 215638 江苏省苏州市张家港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种硅片收纳盒，所述收纳盒顶端开口，包括矩形的底板、以及分别自所述底板相邻的两边缘向上垂直设置的第一挡板和第二挡板，第一挡板和第二挡板围成一开口空间。本发明的收纳盒去掉了矩形盒体相邻的两个侧边，硅片不易造成缺口、破碎；收纳盒底板通过垫片倾斜设置，可以明显提高放置硅片的速度。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 收纳 | ||
【主权项】：
一种硅片收纳盒，其特征在于，所述收纳盒顶端开口，包括矩形的底板、以及分别自所述底板相邻的两边缘向上垂直设置的第一挡板和第二挡板，第一挡板和第二挡板围成一开口空间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
