[发明专利]一种阴影莫尔轮廓测量装置、其标定方法和测量方法

摘要

本发明提供一种阴影莫尔轮廓测量装置、其标定方法和测量方法，测量装置包括红、绿、蓝三个线光源、一个彩色CCD摄像机、一个光栅和一个精密位移平台；红、绿、蓝三个线光源和彩色CCD摄像机共线的设置于光栅一侧且与光栅面平行；所述的光栅设置在精密位移平台上；所述的红、绿、蓝三个线光源布置于彩色CCD摄像机一侧。本发明同时提供了上述阴影莫尔轮廓测量装置的标定方法和测量方法。本发明克服了现有的相移阴影莫尔测量装置和测量方法测量被测物体时间较长且精度不高的问题。

主权项

一种阴影莫尔轮廓测量装置的测量方法，其特征在于：该方法使用的测量装置包括红、绿、 蓝三个线光源（1）、一个彩色 CCD 摄像机（2）、一个光栅（3）和一个精密位 移平台；所述的红、绿、蓝三个线光源（1）和彩色 CCD 摄像机（2）共线的设置于光栅（3）一侧且与光栅面平行；所述的光栅（3）设置在精密位移平台上； 所述的红、绿、蓝三个线光源（1）布置于彩色 CCD 摄像机（2）一侧；所述的测量方法依次包括以下步骤：步骤一，将光栅（3）调整至初始位置，被测物体（4）置于光栅（3）下方，同时打开红、绿、蓝三个线光源（1），在被测物体表面产生复色莫尔条纹，然后彩色 CCD 摄像机（2）在单次拍摄条件下摄取复色莫尔条纹；步骤二，把摄取的复色莫尔条纹分离形成单色莫尔条纹，得到用于解调被测物体（4）表面形貌的相移莫尔条纹图；步骤三，将步骤二所得的数据正则化处理，然后运用主量分析法提取测量相位；步骤四，运用去包裹方法对步骤三提取的测量相位进行相位展开；步骤五，根据测量灵敏度和展开的相位，进行相位高度映射，完成测量。