[发明专利]一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法

摘要

本发明公开一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法，属于多晶硅行业氯硅烷废气资源化领域。本发明所述方法以氯硅烷废气与水蒸汽发生反应，反应产物经气固分离获得纳米二氧化硅，气固分离出来的气体经过冷却，绝大部分水蒸汽冷凝下来，并吸收了部分氯化氢，经过气液分离后，剩余气体通过盐酸和工业水的淋洗，获得高浓度盐酸。本发明以水蒸汽与氯硅烷废气发生气汽水解反应，可以获得纳米二氧化硅，用工业水和盐酸淋洗气固分离尾气，获得浓盐酸。本发明主要以水蒸汽作为混合氯硅烷废气水解反应物，高浓度盐酸作为吸收剂，减少杂质元素带入，保证二氧化硅和浓盐酸的质量，本发明既实现了氯硅烷废气的无害化处置，又实现了废气中硅和氯元素的资源化。

主权项

一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）气汽接触水解反应：将氯硅烷废气和水蒸汽同时通入气汽水解反应塔（1），氯硅烷废气在充满水蒸汽的气汽水解反应塔（1）中水解，生成的二氧化硅固体随气流一起进入气固分离设备；（2）气固分离：氯硅烷废气和水蒸汽水解产物进入气固分离器（2），分离出固体颗粒为纳米二氧化硅；（3）尾气冷却：气固分离器（2）出来的气体经过换热器I（3）和气液分离器（4），获得浓盐酸进入吸收液接收槽（5）；（4）氯化氢气体的吸收：气液分离器（4）分离出来的气体进入喷淋塔（7）被吸收，吸收液变成浓盐酸进入吸收液接收槽（5），吸收液接收槽（5）中部分浓盐酸经过换热器II（8）后进入喷淋塔（7）循环喷淋，其余部分浓盐酸作为产品排出，工业水槽（9）中工业水输送到喷淋塔（7）顶部喷头进行喷淋，吸收残余氯化氢，吸收后的尾气进入尾气碱洗工序吸收后达标排放；所述气汽水解反应塔（1）内温度控制在110~200℃，气固分离器（2）温度保持在100~200℃；换热器I（3）将物料温度降至30~50℃；所述部分浓盐酸用换热器II（8）冷却至25~35℃后循环喷淋。