[发明专利]一种触摸屏及其制备方法在审
申请号: | 201510472234.0 | 申请日: | 2015-08-01 |
公开(公告)号: | CN104978075A | 公开(公告)日: | 2015-10-14 |
发明(设计)人: | 李结松;张少波;陈诚;钟汝梅 | 申请(专利权)人: | 安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041 |
代理公司: | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人: | 王琪 |
地址: | 233010 安徽省蚌*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 一种触摸屏,它从下至上依次包括基板、第一硅膜层、ITO膜层和第二硅膜层。本发明还提供所述一种触摸屏的制备方法,包括以下步骤:(1)提供基板,对基板进行镀膜前处理;(2)在基板表面镀第一硅膜层;(3)在第一硅膜层表面镀ITO膜层,镀ITO膜层采用真空阴极磁控溅射法,并且靶材的铟锡比例为93:7;(4)在ITO膜层表面镀第二硅膜层。本发明采用真空阴极磁控溅射法镀ITO膜层,并确定靶材的铟锡比例为93:7,在此比例下,ITO膜层的粗糙度得到有效改善,其凸起的部分不会刺穿覆盖在其表面的第二硅膜层,进而解决了漏电阻的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 触摸屏 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种触摸屏,它从下至上依次包括基板、第一硅膜层、ITO膜层和第二硅膜层。
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