[发明专利]一种半导体生产线动态调度装置

摘要

本发明涉及一种半导体生产线动态调度装置，包括用于生成数据样本的样本生成模块；用于根据所述数据样本建立调度模型的调度模型离线学习模块；用于根据用户调度目标和所述调度模型生成实时调度策略进行半导体生产线在线调度的生产线在线调度模块，根据用户的调度要求从调度模型库中选择相适应的调度模型，并输入半导体生产线的系统状态信息，应用调度模型从候选的调度策略中选择最优或近似最优的调度策略应用于生产线运行。与现有技术相比，本发明具有满足调度实时性和优化，同时也能满足调度的有效性，有利于提高生产线整体性能的优势。

主权项

一种半导体生产线动态调度装置，其特征在于，包括：用于生成数据样本的样本生成模块，所述样本生成模块包括半导体生产线模型单元和样本数据库，所述半导体生产线模型单元根据实际的半导体生产线生产状态和候选调度策略生成数据样本，存储于样本数据库；用于根据所述数据样本建立调度模型的调度模型离线学习模块；用于根据用户调度目标和所述调度模型生成实时调度策略进行半导体生产线在线调度的生产线在线调度模块；所述半导体生产线模型单元生成数据样本的具体过程为：1a)确定与实际调度环境相关的生产属性集、调度策略集和生产线性能指标集；1b)根据半导体生产线物理特征和控制特征构建仿真模型；1c)向仿真模型输入一条生产线状态数据，初始化仿真模型生产状态，获取一个生产线状态所对应的生产属性数据，应用调度策略，运行模型一个调度周期，获取该调度策略下的生产线性能指标值，形成一条数据样本，若有m个调度策略，则运行m次仿真模型，形成m条数据样本，即每个生产线状态对应着m条数据样本；1d)对所有的生产线状态数据逐条进行步骤1c)，形成数据样本，所述数据样本包括生产线状态、调度策略和相应的生产线性能指标。