[发明专利]磁控溅射镀铝+加弧辉光渗铌+反冲离子注入制备Fe‑Al‑Nb合金层

摘要

本发明属于金属表面改性领域。具体涉及采用磁控溅射镀Al、加弧辉光渗Nb和反冲离子注入相结合，制备合金元素均匀分布的Fe‑Al‑Nb涂层。具体步骤如下步骤1首先对不锈钢表面进行表面预处理，经超声清洗后烘干；步骤2采用磁控溅射技术进行镀Al；步骤3采用加弧辉光技术渗Nb；步骤4采用反冲离子注入技术轰击材料表面的薄膜。本发明能够避免涂层中孔洞的出现，解决涂层表面沉积层纯Nb的形成以及亚表面附近高Al脆性相的析出，保证Fe、Al、Nb三种合金元素沿截面方向均匀分布，提高涂层的使用寿命，改善其抗高温氧化性和耐摩擦磨损性能。

主权项

磁控溅射镀铝+加弧辉光渗铌+反冲离子注入制备Fe‑Al‑Nb合金层的方法，其特征在于，具体步骤如下：步骤1：首先对不锈钢表面进行表面预处理，经超声清洗后烘干；步骤2：采用磁控溅射技术进行镀Al；步骤3：采用加弧辉光技术渗Nb；步骤4：采用反冲离子注入技术轰击材料表面的薄膜；制备所得的Fe‑Al‑Nb合金层内各合金元素沿截面方向均匀分布，形成包含Fe2AlNb、Fe3Al、FeAl、NbC的具有高硬度、高强度的化合物相。