[发明专利]弹性波元件有效
| 申请号： | 201510477470.1 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN105119585A | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 冈本庄司;后藤令;中西秀和;中村弘幸 | 申请（专利权）人： | 天工松下滤波方案日本有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 北京市正见永申律师事务所 11497 | 代理人： | 黄小临 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及弹性波元件。一种弹性波元件包括：压电体；设置在所述压电体上的IDT电极，所述IDT电极激励波长为λ的主要弹性波，所述IDT电极包括具有设置在所述压电体上的钼的第一电极层和具有设置在所述第一电极层上的铝的第二电极层，所述IDT电极具有0.15λ以下的总厚度，所述第一电极层具有0.03λ以上的厚度，所述第二电极层具有0.025λ以上的厚度；以及氧化硅膜，具有0.2λ至0.5λ之间的厚度，设置在所述压电体上，并且覆盖所述IDT电极。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 元件 | ||
【主权项】：
一种弹性波元件，包括：压电体；设置在所述压电体上的IDT电极，所述IDT电极激励波长为λ的主要弹性波，所述IDT电极包括具有设置在所述压电体上的钼的第一电极层和具有设置在所述第一电极层上的铝的第二电极层，所述IDT电极具有0.15λ以下的总厚度，所述第一电极层具有0.03λ以上的厚度，所述第二电极层具有0.025λ以上的厚度；以及氧化硅膜，具有0.2λ至0.5λ之间的厚度，设置在所述压电体上，并且覆盖所述IDT电极。
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