[发明专利]一种双工件台换台自转装置及其使用方法

摘要

本发明涉及一种双工件台换台自转装置，包括框架、公转电机、第一工作台总成、第二工作台总成、第一直线滑动轴承、第二直线滑动轴承、第一直线导杆、第二直线导杆、第一随动导杆驱动器、第二随动导杆驱动器。本发明具有以下优点：1、解决了以往旋转换台方案硅片台相位反转与光学系统配套难的问题。2、将工件台自转的旋转运动转化为拨杆驱动器的直线运动，可以减小控制系统的设计难度。3、使随动导杆驱动器与其他直线电机共用Y向导轨上的测量装置，避免了旋转驱动实现自转的测量机构的使用，降低了成本。

主权项

1.一种双工件台换台自转装置，其特征在于它包括框架(1)、公转电机(2)、第一工作台总成(3)、第二工作台总成(4)、第一直线滑动轴承(5)、第二直线滑动轴承(6)、第一直线导杆(7)、第二直线导杆(8)、第一随动导杆驱动器(9)、第二随动导杆驱动器(10)；第一工作台总成(3)由第一上平台(3-1)和第一环形座(3-2)组成；第一环形座(3-2)通过气浮轴承转动套接在第一上平台(3-1)的下端转轴上；第二工作台总成(4)由第二上平台(4-1)和第二环形座(4-2)组成；第二环形座(4-2)通过气浮轴承转动套接在第二上平台(4-1)的下端转轴上；公转电机(2)设置在框架(1)的中心位置上，公转电机(2)的第一抓卡机构(2-1)抓卡在第一工作台总成(3)的第一环形座(3-2)上，公转电机(2)的第二抓卡机构(2-2)抓卡在第二工作台总成(4)的第二环形座(4-2)上，第一直线滑动轴承(5)安装在第一上平台(3-1)下端面上，第二直线滑动轴承(6)安装在第二上平台(4-1)下端面上，第一随动导杆驱动器(9)滑动设置在框架(1)上，第二随动导杆驱动器(10)滑动设置在框架(1)上；第一直线导杆(7)的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器(9)上，第二直线导杆(8)的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器(10)上；第一直线导杆(7)的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承(5)内，第二直线导杆(8)的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承(6)内，当公转电机(2)在逆时针旋转180度后再顺时针旋转180度的循环过程中时，第一直线导杆(7)能在第一直线滑动轴承(5)内做直线滑动，能限制第一工作台总成(3)的第一上平台(3-1)的转动角度为零，第一随动导杆驱动器(9)能跟随第一直线导杆(7)的往复直线滑动动作在框架(1)上做往复直线滑动；第二直线导杆(8)能在第二直线滑动轴承(6)内做直线滑动，能限制第二工作台总成(4)的第二上平台(4-1)的转动角度为零，第二随动导杆驱动器(10)能跟随第二直线导杆(8)的往复直线滑动动作在框架(1)上做往复直线滑动；所述第一直线滑动轴承(5)和第二直线滑动轴承(6)可用气浮式直线滑动轴承替换，而能将摩擦阻力减到最小；第一随动导杆驱动器(9)和第二随动导杆驱动器(10)器由直线电机、气足装置搭建组成；所述双工件台换台自转装置的使用方法时：工作时，公转电机(2)的第一抓卡机构(2-1)抓卡在第一工作台总成(3)的 第一环形座(3-2)上，公转电机(2)的第二抓卡机构(2-2)抓卡在第二工作台总成(4)的第二环形座(4-2)上；当公转电机(2)逆时针旋转180度时，第一直线导杆(7)能在第一直线滑动轴承(5)内做直线滑动，能限制第一工作台总成(3)的第一上平台(3-1)的转动角度为零，第一随动导杆驱动器(9)能在其直线电机的驱动下跟随第一直线导杆(7)的直线滑动动作在框架(1)上做直线滑动；第二直线导杆(8)能在第二直线滑动轴承(6)内做直线滑动，能限制第二工作台总成(4)的第二上平台(4-1)的转动角度为零，第二随动导杆驱动器(10)能在其直线电机的驱动下跟随第二直线导杆(8)的直线滑动动作在框架(1)上做直线滑动；当公转电机(2)再顺时针旋转180度时，第一直线导杆(7)能在第一直线滑动轴承(5)内做直线滑动，能限制第一工作台总成(3)的第一上平台(3-1)的转动角度为零，第一随动导杆驱动器(9)能在其直线电机的驱动下跟随第一直线导杆(7)的直线滑动动作在框架(1)上做直线滑动；第二直线导杆(8)能在第二直线滑动轴承(6)内做直线滑动，能限制第二工作台总成(4)的第二上平台(4-1)的转动角度为零，第二随动导杆驱动器(10)能在其直线电机的驱动下跟随第二直线导杆(8)的直线滑动动作在框架(1)上做直线滑动,完成一个工作周期。