[发明专利]一种冷凝净化设备

摘要

本发明公开一种冷凝净化设备，包括：进气装置(1)、冷却装置(2)、过滤装置(3)、排气装置(4)；其中，进气装置(1)、冷却装置(2)、排气装置(4)依次连通，过滤装置(3)设置于冷却装置(2)中；冷却装置(2)与外部环境连通，由进气装置(1)进入到冷却装置(2)中的高温气体与进入到冷却装置(2)中的外部低温空气混合降温，同时过滤装置(3)对高温气体中的杂质进行冷凝过滤，经冷却装置(2)和过滤装置(3)冷凝处理后的气体由排气装置(4)排出。本发明的冷凝净化设备通过提前对进入排气管路的高温气体进行降温及凝结过滤处理，以避免高温气体在排气管路凝结堵塞排气管路。

主权项

1.一种冷凝净化设备，其特征在于，包括：进气装置(1)、冷却装置(2)、过滤装置(3)、排气装置(4)；其中，所述进气装置(1)、所述冷却装置(2)、所述排气装置(4)依次连通，所述过滤装置(3)设置于所述冷却装置(2)中；所述进气装置(1)与对经曝光、显影后的产品进行烘烤的烘烤设备连通，从而所述冷却装置(2)与所述烘烤设备连通，由所述进气装置(1)进入到所述冷却装置(2)中的高温气体与进入到所述冷却装置(2)中的外部低温空气混合降温，同时所述过滤装置(3)对所述高温气体中的杂质进行冷凝过滤，经所述冷却装置(2)和所述过滤装置(3)冷凝处理后的气体由所述排气装置(4)排出；所述进气装置(1)包括：进气管(11)、进气腔体(12)；其中，所述进气管(11)与所述进气腔体(12)体连通，所述进气腔体(12)体与所述冷却装置(2)连通；所述冷却装置(2)包括：冷却腔体(21)、通风装置(22)；其中，所述通风装置(22)安装于所述冷却腔体(21)上，所述通风装置(22)用于使所述外部低温空气进入到所述冷却腔体(21)中，所述冷却腔体(21)与所述进气腔体(12)连通；所述过滤装置(3)包括：滤网(31)和承载托架(32)，所述承载托架(32)包括：手柄(321)及与所述手柄(321)连接的环形托架(322)，所述滤网(31)可拆卸地安装于所述环形托架(322)中，所述环形托架(322)插置于所述冷却腔体(21)中；所述通风装置(22)包括：片状体(221)及开设在所述片状体(221)上的若干开口(222)；其中，所述片状体(221)安装于所述冷却腔体(21)上，所述外部低温空气通过所述若干开口(222)进入到所述冷却腔体(21)中；所述开口(222)的大小可调节。