[发明专利]一种多区域结构位相型波带片有效

专利信息
申请号: 201510487379.8 申请日: 2015-08-10
公开(公告)号: CN106405700B 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 高志山;窦健泰;杨忠明;赵彦;袁群;王帅;成金龙;朱丹 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 朱沉雁
地址: 210094 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种多区域结构位相型波带片,包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的透光薄膜,在所述透光薄膜上刻蚀N个同心圆环,N≥3,所述相邻同心圆环的环带相位相差为π,沿径向方向将位相型波带片分成M个区域,2≤M≤10,每个区域的环带数N和环带位置g(n)满足以下关系:所述环带位置g(n)决定环带半径其中第一个环带的半径λ为工作波长,f为工作焦距;假设第i个区域的环带位置gi(n)为与环带序列n有关的线性变化,即gi(n)=ain+bi,其中ai和bi表示位置系数,ai和bi均是整数。本发明提供的多区域结构位相型波带片在同环数和同焦距情况下,相比于传统波带片具有更大的数值孔径和更小的焦斑尺寸,带宽变宽更易于加工。
搜索关键词: 一种 区域 结构 位相 波带片
【主权项】:
1.一种多区域结构位相型波带片,其特征在于:包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的透光薄膜,在所述透光薄膜上刻蚀N个同心圆环,N≥3,所述相邻同心圆环的环带相位相差为π,沿径向方向将位相型波带片分成M个区域,2≤M≤10,每个区域的环带数N和环带位置g(n)满足以下关系:所述环带位置g(n)决定环带半径rn其中第一个环带的半径λ为工作波长,f为工作焦距;假设第i个区域的环带位置gi(n)为与环带序列n有关的线性变化,即gi(n)=ain+bi,其中ai和bi表示位置系数,ai和bi均是整数,多区域结构位相型波带片的数值孔径为由于相邻区域的环带是连续的,ai和bi满足ai(ni+1)+bi=ai+1(ni+1)+bi+1。
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