[发明专利]一种多区域结构位相型波带片有效
申请号: | 201510487379.8 | 申请日: | 2015-08-10 |
公开(公告)号: | CN106405700B | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 高志山;窦健泰;杨忠明;赵彦;袁群;王帅;成金龙;朱丹 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 朱沉雁 |
地址: | 210094 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开了一种多区域结构位相型波带片,包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的透光薄膜,在所述透光薄膜上刻蚀N个同心圆环,N≥3,所述相邻同心圆环的环带相位相差为π,沿径向方向将位相型波带片分成M个区域,2≤M≤10,每个区域的环带数N和环带位置g(n)满足以下关系:所述环带位置g(n)决定环带半径 |
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搜索关键词: | 一种 区域 结构 位相 波带片 | ||
【主权项】:
1.一种多区域结构位相型波带片,其特征在于:包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的透光薄膜,在所述透光薄膜上刻蚀N个同心圆环,N≥3,所述相邻同心圆环的环带相位相差为π,沿径向方向将位相型波带片分成M个区域,2≤M≤10,每个区域的环带数N和环带位置g(n)满足以下关系:所述环带位置g(n)决定环带半径rn,
其中第一个环带的半径
λ为工作波长,f为工作焦距;假设第i个区域的环带位置gi(n)为与环带序列n有关的线性变化,即gi(n)=ain+bi,其中ai和bi表示位置系数,ai和bi均是整数,多区域结构位相型波带片的数值孔径为
由于相邻区域的环带是连续的,ai和bi满足ai(ni+1)+bi=ai+1(ni+1)+bi+1。
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