[发明专利]一种用于扫描电镜真空环境的高温测试装置

摘要

本文公开了一种用于模拟扫描电镜真空环境的高温测试装置，测试在高、低真空环境及大气环境(10‑5～105Pa)下，目标点的温度分布，并可测试施加热防护措施后对目标测试点温度降低的效果，测温范围为‑40～1600℃。该测温装置包括真空室及真空装置，热电偶测温组件，电极法兰组件，支撑法兰组件，加热台装置，及热防护挡板。本装置结构设计简单，测温精度高，测温范围广，适用于测试不同类型扫描电镜及真空设备中的温度分布。

主权项

一种用于模拟扫描电镜真空环境的高温测温装置，其特征在于包括：真空室及真空装置，热电偶，电极法兰组件，支撑法兰组件，加热台装置，及观察窗；所述的真空室壁接有真空装置的机械泵法兰(9)、加热台法兰(4)、支撑法兰(7)、电极法兰组件(5)、观察窗法兰(6)、冷却水法兰(10)；机械泵法兰(9)、加热台法兰(4)、支撑法兰(7)、电极法兰组件(5)、观察窗法兰(6)、冷却水法兰(10)；通过螺钉固定在真空室壁上，各个法兰与真空室壁之间装有密封圈；所述的真空装置包括机械泵(3)和分子泵(2)及控制面板，控制面板显示真空度的变化；热电偶(12)固定在支撑法兰组件(7)的固定轴(14)上，固定轴(14)固定在连接轴(13)上，热电偶的连接线通过锡焊与电极法兰组件(5)的内、外侧密封电极(17)连接，真空室外的热电偶连接线与热电偶仪表连接；所述的电极法兰组件(5)由密封电极(17)、电极法兰盘(19)、密封圈和固定螺钉组成，密封电极通过螺钉固定在电极法兰上，密封电极与电极法兰之间装有密封圈；所述的支撑法兰组件(7)由支撑法兰盘(20)、连接轴、固定轴及固定螺钉组成，支撑法兰盘固定在真空室壁上，支撑法兰盘的内表面上做出一个凸台孔(21)，凸台孔上的螺钉孔用来固定连接轴，连接轴上开有多个圆孔，固定轴插入所述多个圆孔固定，固定轴上开有方槽，通过固定轴侧面的螺钉，固定热电偶；若需降低热源上方目标点温度值在设定所需热源温度下的温度值，在热源上方或者测试位置的前方，添加热防护挡板，所述的热防护挡板的材质为金属和合金板，或者在金属和合金板上蒸镀薄膜。