[发明专利]一种微波探针校准用标准样片有效
| 申请号： | 201510489905.4 | 申请日： | 2015-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN105068031B | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 殷玉喆;贾宁;张旭勤 | 申请（专利权）人： | 工业和信息化部电子工业标准化研究院 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 梁军 |
| 地址： | 100007 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种微波探针校准用标准样片，包括具有定制衰减或驻波值的平衡电桥式模块，本发明由于采用了“平衡电桥”结构，消掉了测量不确定度较大的电阻率σ，因此设计结果与实测结果可以较好符合，而且，这种“平衡电桥”结构，也有助于消除由于工艺缩放造成的L、W公差引起的驻波比误差，大大提高了标准样片的标准值的准确性，从而有效解决了现有技术中的标准样片的标准值不准确问题。 | ||
| 搜索关键词： | 标准样片 平衡电桥 微波探针 校准 测量不确定度 设计结果 实测结果 有效解决 准确问题 公差 电阻率 驻波比 衰减 缩放 驻波 | ||
【主权项】：
1.一种微波探针校准用标准样片，其特征在于，包括具有定制衰减或驻波值的平衡电桥式模块；所述具有定制衰减或驻波值的平衡电桥式模块包括共面波导型平衡电桥模块或者微带电路型平衡电桥模块；所述共面波导型平衡电桥模块内设置中间岛，所述中间岛分别通过薄膜电阻与信号线及地线连接，且通过所述中间岛与信号线外边界布线长度的不同来定制相位；所述微带电路型平衡电桥模块内设置中间岛，所述中间岛分别通过薄膜电阻与信号线连接，且所述中间岛通过薄膜电阻以及背孔与背面金属地相连，通过所述中间岛与信号线外边界布线长度的不同来定制相位；其中，所述中间岛水平方向，分别通过两个电阻臂与微波输入输出信号线连接，垂直方向，分别通过另外两个电阻臂与共面波导地或微带地连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于工业和信息化部电子工业标准化研究院，未经工业和信息化部电子工业标准化研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510489905.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
