[发明专利]一种TiO2薄膜光助气敏元件及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种TiO2薄膜光助气敏元件及其制备方法和应用。将钛酸异丙酯溶于乙醇中，在金叉指电极片上原位生长得到均匀致密的二氧化钛薄膜气敏元件。与常规的滴覆法相比，该方法制得的气敏元件在紫外光作用下显示出较佳的H2和丙酮气体的响应性能，并表现出良好的稳定性和重复性。该方法简单易行，在制备半导体光助气敏传感器方面具有较好的应用前景。

主权项

一种TiO2薄膜光助气敏元件的制备方法，其特征在于：先用去离子水、乙醇，超声洗涤金叉指电极片，然后浸泡在piranha solution 3 小时，取出将电极片表面清洗干净，以增强表面的亲水性，并用去离子水清洗，烘干；将烘干的电极片浸渍在前驱体溶液中，2min 后取出放在平滑的桌面，电极片表面快速水解得到TiO2膜；最后，将电极片置于马弗炉中升温，升温速率为1‑3℃/min，至300‑600℃下煅烧0.5‑3 小时，制得二氧化钛薄膜气敏元件；其中 piranha solution 具体是30% 双氧水和98% 硫酸按体积比1 ：1 ~ 1 ：3混合；其中前驱体溶液为钛酸异丙酯和乙醇按体积比1：5~ 1 ：20混合。