[发明专利]一种用于聚焦和引导电子束的圆筒形永磁体系统

摘要

一种用于聚焦和引导电子束的圆筒形永磁体系统，由第一永磁体(1)、第二永磁体(2)第三永磁体(3)、磁体内筒(13)、支撑三个永磁体的外筒和法兰组成。所述第一永磁体(1)、第二永磁体(2)和第三永磁体两端均布置有法兰，三个永磁体支撑固定在外筒上，通过法兰相互连接。第一永磁体(1)的充磁方向沿径向指向磁体轴线，第二永磁体(2)的充磁方向沿轴向指向第一永磁体(1)，第三永磁体(3)的充磁方向沿径向背离磁体轴线。所述三个永磁体由多层磁环组成，磁环由扇形磁钢拼接而成。调整三个永磁体的尺寸大小、相互位置关系和内径阶梯变化，得到满足不同磁场位型和均匀度要求的轴向磁场。

主权项

一种用于聚焦和引导电子束的圆筒形永磁体系统，包括三个圆环形永磁体、磁体内筒(13)和支撑三个永磁体的外筒和法兰；三个所述的永磁体为第一永磁体(1)、第二永磁体(2)和第三永磁体(3)，其特征在于：所述第一永磁体(1)的充磁方向沿径向指向磁体轴线，所述第二永磁体(2)的充磁方向沿轴向指向第一永磁体(1)，所述第三永磁体(3)的充磁方向沿径向背离磁体轴线；所述第一永磁体(1)、第二永磁体(2)和第三永磁体(3)的内孔均为阶梯形结构，构成阶梯孔；所述第一永磁体(1)固定在第一外筒(4)的内表面，第一永磁体(1)的两端设置有第一法兰(5)和第二法兰(6)；所述第二永磁体(2)固定在第二外筒(7)的内表面，第二永磁体(2)的两端设置有第三法兰(8)和第四法兰(9)；所述第三永磁体(3)固定在第三外筒(10)的内表面，第三永磁体(3)的两端设置有第五法兰(11)和第六法兰(12)；所述第二法兰(6)与第二外筒(7)相连接，所述第六法兰(12)也与第二外筒(7)相连接；所述磁体内筒(13)的一端有法兰，与第一外筒(4)相连接，磁体内筒(13)设置在所述圆筒形永磁体系统的内孔中。