[发明专利]一种多晶铸锭用高效坩埚及其制备方法

摘要

本发明公开了一种多晶铸锭用高效坩埚及其制备方法，其中，高效坩埚包括常规的石英坩埚，石英坩埚的内侧有氮化硅复合层，氮化硅复合层阵列镶嵌有高纯形核颗粒；及其制备方法。本发明的有益效果是1、本发明在提高多晶硅锭品质的基础上，可以将多晶硅锭的利用率提高5%左右，从而进一步降低电池片的生产成本；2、形核颗粒镶嵌更加牢固，很好地解决了高效坩埚在生产制作和使用过程中因热应力导致涂层开裂和颗粒剥落的问题，大大提高了多晶铸锭的安全性；3、铸锭厂商使用本产品无需再进行喷涂操作，可以直接装载硅料投炉使用，使用更加简便。

主权项

一种多晶铸锭用高效坩埚，其特征在于，包括常规的石英坩埚，所述石英坩埚的内侧有氮化硅复合层，所述氮化硅复合层上方阵列镶嵌有高纯形核颗粒； 所述高纯形核颗粒的成分为粒径为5‑15mm的单晶硅和多晶硅，其质量份数比为：1‑2:1‑3；所述高纯形核颗粒间距为1‑4mm，高纯形核颗粒的分布密度为4‑100/cm2；所述高纯形核颗粒均匀地镶嵌在氮化硅复合层中，上半部分裸露在氮化硅复合层之上，上半部分高度为5‑10mm；所述氮化硅复合层的厚度为1‑5mm；所述氮化硅复合层的组分质量份数为：10‑20份的高纯氮化硅颗粒、10‑50份的高纯水和10‑20份的硅溶胶；所述高纯氮化硅颗粒由20‑30份粒径小于20μm、30‑50份粒径位于30‑40μm之间、30‑40份粒径大于50μm的高纯氮化硅颗粒混合而成。