[发明专利]精确测量高功率激光环境中光学镜片透过率的装置和方法

摘要

本发明公开了一种光学镜片透过率测量装置，包括激光光源、光束扩束装置、45°角分光比50/50的镀膜分光片、补偿片、狭缝、第一功率计和第二功率计。在测量时，首先打开所述激光光源，记录此时第一功率计和第二功率计的读数P₁和P₂，得到功率比值c＝P₁/P₂。然后，将待测镜片放入所述光学镜片透过率测量装置的透射光路中，利用待测镜片校准装置调整待测镜片的位置和角度，读取第一功率计和第二功率计的读数P₁′与P₂′；最后，通过下列公式计算待测镜片的透过率T：T＝P₂′c/P₁′。本发明对光源稳定性要求较低，对待测镜片厚度无要求，可以消除分光片前后表面反射、光学镀膜镜片膜系均匀性等对测试结果的影响。

主权项

1.一种光学镜片透过率测量装置，包括激光光源、光束扩束装置、45°角分光比50/50的镀膜分光片、补偿片、狭缝、第一功率计和第二功率计，其中，所述激光光源用于产生高功率激光；所述光束扩束装置用于将激光光源发射的激光进行整形和扩束；所述45°角分光比50/50的分光片用于接收光束扩束装置输出的测试激光并将其分成透射光和反射光，该分光片具有两个相对的平行反射面，其中的一个反射面上具有镀膜；所述补偿片置于所述分光片的具有镀膜的一侧，用于接收并透射分光片输出的透射光和反射光中的一个，以补偿从镀膜分光片输出的激光的衬底吸收；所述狭缝用于对从所述分光片反射的激光进行约束，以便只允许从所述分光片的具有镀膜的反射面反射的激光通过；所述第一功率计用于探测通过所述狭缝的激光的功率；所述第二功率计用于探测从待测镜片透射的激光的功率；还包括镜片校准装置，其用于对待测镜片进行的位置和角度进行校准；待测镜片校准装置包括激光标示仪、小孔光阑和反射镜，所述激光标示仪与所述小孔光阑和反射镜分立透射光路两侧，对称排布，所述反射镜反射的激光继续通过所述小孔光阑原路返回，所述待测镜片与透射光路垂直布置，其中，所述激光标示仪输出用于校准的激光，该激光由待测镜片反射后通过小孔光阑入射到反射镜，所述待测镜片的位置及角度使该反射镜反射的激光继续通过该小孔光阑原路返回，完成待测镜片位置及角度校准。