[发明专利]硅-蓝宝石差分电容式压力传感器及制作方法在审
| 申请号： | 201510499940.4 | 申请日： | 2015-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN104990651A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 李策 | 申请（专利权）人： | 昆山泰莱宏成传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215316 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了硅-蓝宝石差分电容式压力传感器及其制作方法，其采用蓝宝石-硅-蓝宝石直接键合构成对压力敏感的差分电容式核心部件，由于这两种材料都没有蠕变，避免了热应力通过蠕变产生的缓慢释放造成传感器特性长期稳定性变差，使压力传感器的长期稳定性得到提高，而且其制作方法简单易掌握，具有极高的经济价值。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 电容 压力传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
硅‑蓝宝石差分电容式压力传感器，包括硅可动电极，其特征在于：所述的硅可动电极为中心，依次对称的在两侧装配蓝宝石片和陶瓷基板，所述的硅可动电极、蓝宝石片、陶瓷基板组成了压力敏感芯体，所述的压力敏感芯体的侧面安装有侧电极。
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