[发明专利]磁相取向的钛酸钡/镍锌铁氧体纳米晶复相薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201510500941.6 | 申请日： | 2015-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN105198406B | 公开（公告）日： | 2017-08-15 |
| 发明（设计）人： | 杜丕一;唐宇;马宁;韩高荣;翁文剑 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C04B35/468 | 分类号： | C04B35/468;C04B35/26 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司33200 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铁磁相取向生长的钛酸钡/镍锌铁氧体纳米晶复相薄膜材料及制备方法，该复相薄膜中钛酸钡晶相随机生长，镍锌铁氧体晶相取向生长且两相无序分布，该种薄膜是采用射频磁控溅射结合热处理的方法制得，该种材料具有电、磁双渗流阈值、同时具有低介电损耗、高介电常数和高磁导率、具有较高的两相间应力传递效果和耦合效果，本发明多铁复相薄膜材料的制备工艺简单，成本低廉，可用于多态存储器和异质读写电容器，并有望在电磁器件领域得到广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 取向 钛酸钡 铁氧体 纳米 晶复相 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种钛酸钡/镍锌铁氧体纳米晶复相薄膜，其特征在于，该薄膜化学式为(1‑x)BaTiO3/xNi0.5Zn0.5Fe2O4，其中0＜x＜1，由钛酸钡晶相和镍锌铁氧体晶相组成，两相中晶粒呈无序分布，钛酸钡相无特定取向，镍锌铁氧体相沿(100)取向生长，两相的晶粒尺寸均小于20nm。
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