[发明专利]一种一体化气体激光器

摘要

本发明公开了一种一体化气体激光器，气体激光器的腔体(1)的两端的外侧分别具有一个腔镜调节装置(8)，该两个腔镜调节装置8分别用于固定和保持输出耦合镜(4)和全反射镜(6)，并分别将两个布儒斯特窗(5)中的一个包裹在内；腔镜调节装置(8)与腔体(1)密封连接，以使输出耦合镜(4)与腔体(1)之间，以及全反射镜(6)与腔体(1)之间均形成密闭空间。本发明能排除空气中的水蒸气对镜片材料的潮解，避免空气中的粉尘粘附于镜片表面，使激光器的结构更紧凑，输出激光能量的稳定性更高。

主权项

一种一体化气体激光器，包括作为放电腔的腔体(1)、位于放电腔的两端并作为放电腔激光输出窗口的两个布儒斯特窗(5)，以及位于放电腔两端的外侧，用于接收从所述布儒斯特窗(5)出射的激光的输出耦合镜(4)和全反射镜(6)，其特征在于，所述气体激光器的腔体(1)的两端的外侧分别具有一个腔镜调节装置(8)，该两个腔镜调节装置(8)分别用于固定和保持输出耦合镜(4)和全反射镜(6)，并分别将所述两个布儒斯特窗(5)中的一个包裹在内；并且所述腔镜调节装置(8)与所述腔体(1)密封连接，以使所述输出耦合镜(4)与腔体(1)之间，以及所述全反射镜(6)与腔体(1)之间均形成密闭空间；所述腔镜调节装置(8)包括波纹管(13)、外壳(14)，其中，所述外壳(14)是一个两端开口的筒体，该筒体的一个开口端与激光器的腔体(1)固定，另一个开口端可供所述波纹管(13)沿其轴向伸入；所述波纹管(13)部分伸入所述外壳(14)的筒体，该筒体的供波纹管(13)伸入的开口端与所述波纹管(13)密封连接；所述输出耦合镜(4)固定在所述波纹管(13)的伸入外壳(14)的一端的底面上并与该底面实现密封连接。