[发明专利]检测仪器及其检测方法

摘要

一种检测仪器及其检测方法，适于检测样本。检测仪器包括真空腔体、电子扫描模块、光学显微镜模块以及传动模块。真空腔体具有容置空间。样本配置于容置空间中。电子扫描模块具有电子扫描轴。光学显微镜模块包括第一物镜。电子扫描模块与光学显微镜模块配置于真空腔体上相对于样本的同一侧。传动模块用于传送样本。于第一光学观测模式时，传动模块传送样本，使样本位于第一物镜的光轴上的位置。于电子观测模式时，传动模块传送样本，使样本位于电子扫描轴上的位置，并通过承载力使样本位置固定。

主权项

1.一种检测仪器，适于检测样本，其特征在于，该检测仪器包括：真空腔体，具有容置空间，该样本配置于该容置空间中；电子扫描模块，具有电子扫描轴；光学显微镜模块，包括第一物镜，其中该电子扫描模块与该光学显微镜模块配置于该真空腔体上相对于该样本的同一侧；以及传动模块，配置于该容置空间中，用于传送该样本，其中该传动模块包括具有至少一传送轴以及至少一挡块的传送轨、用于承载该样本的载台、用于承载该载台的承载部、以第一定位模式驱动该承载部沿着该传送轨传送该样本的第一马达以及第二马达，各挡块配置于一该传送轴对应于该电子扫描轴的位置，其中，该检测仪器具有第一光学观测模式与电子观测模式，其中于该第一光学观测模式时，该传动模块传送该样本，使该样本位于该第一物镜的光轴上的位置，于该电子观测模式时，该传动模块传送该样本，使该样本位于该电子扫描轴上的位置具有第一定位精准度，并输出从该第一物镜的光轴往该电子扫描轴的方向上的承载力使该承载部抵靠至少一该挡块，使该样本位置固定，而该第二马达以第二定位模式驱动该载台根据校正值移动，使该样本定位于该电子扫描轴上的位置具有第二定位精准度，且其中该第二定位精准度大于该第一定位精准度，所述电子扫描模块的检测解析度落在所述传动模块的所述第一定位精准度以及所述第二定位精准度之间。