[发明专利]增强镀膜玻璃耐磨和耐腐蚀性能的溅射靶材及制造方法在审
| 申请号： | 201510504552.0 | 申请日： | 2015-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN105058923A | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 温艳玲;黄小军;诸斌;庄志杰 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B32B17/06 | 分类号： | B32B17/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 郭春远 |
| 地址： | 215214 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 增强镀膜玻璃耐磨和耐腐蚀性能的靶材及其制备方法，靶材的主要成分是锆基材料，靶材形状和规格不受限制，可以制成旋转靶材和平面靶材，旋转靶材用等冷喷涂和等离子喷涂工艺制备，平面靶材用粉末冶金工艺制备靶块，再拼接绑定成大尺寸靶材；靶材结构致密、成分均匀、导电性好；密度为(5.3～5.9)g/cm3，相对密度均＞90％。该靶材具有良好的溅射性能，弧光稳定，溅镀速率为(0.5～1.0)nm*m/min，镀制的锆基膜层作为保护膜，和相邻膜层之间有良好的结合力，具有良好的耐磨性和耐候性,玻璃镀膜后不需要膜面保护，可长期储存，便于异地深加工，并有效防止镀膜玻璃在后续深加工过程中划伤报废，合片前不需边部除膜。 | ||
| 搜索关键词： | 增强 镀膜 玻璃 耐磨 腐蚀 性能 溅射 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种增强镀膜玻璃耐磨和耐腐蚀性能的溅射靶材,其特征在于，靶材的主要成分是锆基材料，靶材结构致密、成分均匀、导电性好、无裂纹；制成旋转靶材或平面靶材，靶材密度为(5.3～5.9)g/cm3；该靶材溅镀速率为(0.5～1.0)nm*m/min，镀制的锆基膜层作为保护膜,替代玻璃镀膜后膜面保护或贴膜保护，钢化过程不氧化，玻璃合片前不除膜。
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