[发明专利]一种石英晶体谐振器、智能压力传感器及其传感测量方法有效
| 申请号： | 201510506179.2 | 申请日： | 2015-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN105897217B | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 刘青健;谢俊超;李小菊;张永乐;唐健玻;杨伟华 | 申请（专利权）人： | 应达利电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/19 | 分类号： | H03H9/19;H03H9/02;G01L1/10 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 陈健 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区福永*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明适用于压力传感器技术领域，提供了一种石英晶体谐振器、智能压力传感器及其传感测量方法。该石英晶体谐振器包括压电石英晶片、基座、感应膜和外盖，所述压电石英晶片的两面上分别镀有金属电极，所述压电石英晶片固设于基座上；所述基座上有两金属引出端，所述两金属电极分别与两金属引出端相接触；所述外盖上开设有一通孔，所述外盖盖置于基座上，且将所述压电石英晶片封闭于基座内；所述感应膜密闭设置于所述通孔上。所述的石英晶体谐振器利用压电石英晶片在厚度切变谐振模式下谐振频率和该晶片表面所承受的压力有关这一特殊特性，实现了对环境压力的传感和测量。该晶体谐振器具有实现简单、易于批量生产以及制造成本低等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 晶体 谐振器 智能 压力传感器 及其 传感 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种石英晶体谐振器，其特征在于，包括压电石英晶片、基座、感应膜和外盖，所述压电石英晶片的两面上分别镀有金属电极，所述压电石英晶片固设于所述基座上；所述基座上有两金属引出端，所述两金属电极分别与两金属引出端相接触；所述外盖上开设有一通孔，所述外盖盖置于所述基座上与基座形成一个用于容纳所述压电石英晶片的填充有气体的封闭空间；所述感应膜密闭设置于所述通孔上；所述基座与所述外盖所形成的密封空间内填充有一个大气压的惰性气体；所述石英晶体谐振器内的感应膜感受到压力变化并通过其内部密封的惰性气体作用于压电石英晶片的表面上；所述压电石英晶片表面上所承受的压力发生变化，从而改变压电石英晶片在厚度切变谐振模式下谐振时的谐振频率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应达利电子股份有限公司，未经应达利电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510506179.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：圆片级表面声滤波芯片封装结构及其制造方法
- 下一篇：一种三级跨导放大器
