[发明专利]加工装置有效
| 申请号： | 201510507207.2 | 申请日： | 2015-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN105382561B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 松田智人;根贺亮平;生岛充 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23Q3/00 | 分类号： | B23Q3/00;B23Q11/00;H01L21/67;B23K26/70;B24B41/06 |
| 代理公司： | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种加工装置，其能够降低振动对加工造成的影响。加工装置构成为，具备：保持构件(8)，其保持被加工物(11)；加工构件(14)，其加工被加工物；装置基座(4)，其上配设有保持构件和加工构件；以及装置框架(18)，其包围装置基座、保持构件以及加工构件的周围，并对成为振动的产生源的部件进行支持，装置基座与装置框架分别独立地立起设置，通过防振部件(28)相接，由此维持彼此的位置关系，从部件产生的振动被防振部件吸收。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种加工装置，其特征在于，/n所述加工装置具备：保持构件，其保持被加工物；加工构件，其加工被加工物；装置基座，在该装置基座上配设有该保持构件和该加工构件；以及装置框架，其包围该装置基座、该保持构件以及该加工构件的周围，并对成为振动的产生源的部件进行支承，/n所述装置框架包括：由多个框架件构成的框架主体；和固定在框架主体的底部的多个框架腿部；/n该装置基座与该装置框架分别独立地立起设置，并且多个防振部件分别固定在各个框架腿部的内侧，在所述装置基座的尺寸较大的相对的两侧面的整个范围内，通过各防振部件分别从侧方与所述装置基座的相对的两侧面相接，由此维持彼此的位置关系，/n从该部件产生的振动被各该防振部件吸收。/n
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