[发明专利]一种适合于精确评价金刚石玻式压头角度参数的方法有效

专利信息
申请号: 201510508088.2 申请日: 2015-08-18
公开(公告)号: CN105092403B 公开(公告)日: 2017-06-23
发明(设计)人: 宗文俊;吴东;姚学磊;李增强;孙涛 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G01N3/62 分类号: G01N3/62;G01B11/26
代理公司: 哈尔滨龙科专利代理有限公司23206 代理人: 高媛
地址: 150000 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种适合于精确评价金刚石玻式压头角度参数的方法,步骤如下一、采用激光共聚焦显微镜采集金刚石玻式压头三维数据点,拟合出金刚石玻式压头三个侧面;二、计算三个拟合平面的法向量,三个法向量的矢量和为金刚石三棱锥体的轴线矢量;多次测量不同金刚石玻氏压头,得到金刚石玻式压头三棱锥体轴线矢量的总和;三、分别计算单个压头三棱锥体轴线矢量减去三棱锥体轴线矢量的总和,修正得到压头三棱锥体轴线矢量的随机分布,更为准确的拟合出金刚石玻式压头几何形貌,并进一步精确评价出金刚石玻氏压头的角度参数。本发明测量分辨率高,测量过程十分简洁、高效。
搜索关键词: 一种 适合于 精确 评价 金刚石 压头 角度 参数 方法
【主权项】:
一种适合于精确评价金刚石玻式压头角度参数的方法,其特征在于所述方法步骤如下:一、建立金刚石玻式压头尖端的三维几何模型:采用激光共聚焦显微镜采集金刚石玻式压头三维数据点,根据采集的数据构建出金刚石玻式压头三个侧面,拾取金刚石玻式压头三个侧面的点阵数据信息,并重新拟合出三个平面;二、计算出三个拟合平面的法向量,三个法向量的矢量和为金刚石三棱锥体的轴线矢量;多次测量不同金刚石玻氏压头,得到金刚石玻式压头三棱锥体轴线矢量的总和;三、分别计算单个压头三棱锥体轴线矢量减去三棱锥体轴线矢量的总和,修正得到压头三棱锥体轴线矢量的随机分布,然后根据各个拟合平面的法向量以及修正的金刚石三棱锥体轴线矢量,更为准确的拟合出金刚石玻式压头几何形貌,并进一步精确评价出金刚石玻氏压头的角度参数。
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