[发明专利]一种铜铟镓硒硫薄膜的硒化硫化装置及方法有效
| 申请号： | 201510508328.9 | 申请日： | 2015-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN105200388B | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 洪瑞江;吴兆 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司44100 | 代理人： | 曹爱红 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种于铜铟镓硒硫薄膜的硒化硫化装置，包括石英管、设置在石英管内的反应单元、设置在所述石英管外的加热结构、用于密封所述石英管的管口密封部；所述石英管上设置有与真空泵组连接的连接组件；所述反应单元包括坩埚，所述坩埚上设置有容纳腔、用于密封所述坩埚的密封结构；所述坩埚包括底壁和与底壁形成上方设有开口的容纳腔的侧壁；所述坩埚上设置有用于将所述容纳腔分隔成若干反应腔的分隔壁，所述分隔壁上设置有若干连接相邻反应腔的连通槽，所述连通槽设置在所述底壁的上方。本发明结构简单，操作方便，安全性高，密封性好，蒸汽压稳定，反应均匀，保证了处理后薄膜表面的粗糙度，提升产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜铟镓硒 薄膜 硫化 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种铜铟镓硒硫薄膜的硒化硫化装置，其特征在于：包括石英管、设置在石英管内的反应单元、设置在所述石英管外的加热结构、用于密封所述石英管的管口密封部；所述石英管上设置有与真空泵组连接的连接组件；所述反应单元包括坩埚，所述坩埚上设置有用于放置待处理的铜铟镓硒硫(CIGSS)薄膜以及固态源的容纳腔、用于密封所述坩埚的密封结构；所述坩埚包括底壁和与底壁形成上方设有开口的容纳腔的侧壁；所述坩埚上设置有用于将所述容纳腔分隔成若干反应腔的分隔壁，所述分隔壁上设置有若干连接相邻反应腔的连通槽，所述连通槽设置在所述底壁的上方。
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