[发明专利]基板处理装置和基板处理方法

摘要

本发明提供能抑制在处理单元检测出异常的情况下的生产率的降低的基板处理装置和基板处理方法。本发明的基板处理装置包括处理单元；以及控制部，其用于使处理单元执行基板处理。控制部使处理单元实施基板处理，并根据包含在基板处理后利用基板表面测定检测出的异常的内容的异常检测信息，使被检测出异常的处理单元执行改善处理，改善处理由使异常的内容和改善处理相互对应而得到的改善处理信息确定。

主权项

1.一种基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置包括：处理单元，其用于对基板进行处理；以及控制部，其用于使所述处理单元执行基板处理，所述控制部使所述处理单元实施基板处理，并根据包含在所述基板处理后利用基板表面测定检测出的异常的内容的异常检测信息，使被检测出异常的处理单元执行改善处理，所述改善处理是根据使所述异常的内容和所述改善处理相互对应而得到的改善处理信息确定的，在所述改善处理信息中，作为所述异常的内容，按照异常的每个类型而包含表示异常的程度的信息，应执行的所述改善处理与各类型中的每个异常的程度相互对应。