[发明专利]一种非作业时间长度确定方法及其系统在审

专利信息
申请号: 201510512201.4 申请日: 2015-08-19
公开(公告)号: CN106469230A 公开(公告)日: 2017-03-01
发明(设计)人: 詹祥宇 申请(专利权)人: 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 代理人: 黄志华
地址: 100871 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种非作业时间长度确定方法及其系统,包括获取机台在对半导体产品处理过程中生成的数据库信息;根据所述数据库信息,确定对半导体产品处理过程中的第一时长,其中所述第一时长包括对半导体产品处理过程中所有非作业总时长;根据所述数据库信息,确定所述第一时长中的所有作业总时长;根据所述第一时长和所述第一时长中的所有作业总时长,确定对半导体产品处理过程中所有非作业总时长。用以解决现有技术中半导体作业过程中工艺步骤之间存在非作业时间超时的问题,导致半导体产品的产品质量较低。
搜索关键词: 一种 作业 时间 长度 确定 方法 及其 系统
【主权项】:
一种非作业时间长度确定方法,其特征在于,包括:获取机台在对半导体产品处理过程中生成的数据库信息;根据所述数据库信息,确定对半导体产品处理过程中的第一时长,其中所述第一时长包括对半导体产品处理过程中所有非作业总时长;根据所述数据库信息,确定所述第一时长中的所有作业总时长;根据所述第一时长和所述第一时长中的所有作业总时长,确定对半导体产品处理过程中所有非作业总时长。
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