[发明专利]多晶硅铸锭炉用的复合隔碳涂层以及制备方法、石墨护板、多晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 201510512590.0 | 申请日： | 2015-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN105112995B | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 叶宏亮;张志强;康海涛;熊震 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司;天合光能(常州)科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所33233 | 代理人： | 郭小丽 |
| 地址： | 213031 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭炉用的复合隔碳涂层，用于涂覆在铸锭炉内的碳材料器件表面，防止碳污染，其特征在于所述复合隔碳涂层包括涂覆在器件表面的由金属钨或金属钼构成的第一涂层，以及涂覆在第一涂层上的第二涂层，所述第二涂层为氮化硅层或者由氮化硅层与氧化硅层构成的叠层，第一涂层厚度为0.02‑300微米，第二涂层厚度为0.02‑300微米。本发明还公开了一种制备所述的复合隔碳涂层的方法；同时，本发明还公开了包含所述的复合隔碳涂层的石墨护板以及多晶硅铸锭炉。本发明通过在多晶铸锭炉内的碳材料器件表面涂覆所述复合隔碳层，来消除一氧化碳的产生，从而降低铸锭多晶硅中的杂质及杂质衍生的位错，提高晶体质量，进而提升太阳电池转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 复合 涂层 以及 制备 方法 石墨 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉用的复合隔碳涂层，用于涂覆在铸锭炉内的碳材料器件表面，防止碳污染，其特征在于：所述复合隔碳涂层包括涂覆在器件表面的由金属钨或金属钼构成的第一涂层，以及涂覆在第一涂层上的第二涂层，所述第二涂层为氮化硅层或者由氮化硅层与氧化硅层构成的叠层，第一涂层厚度为0.02‑300微米，第二涂层厚度为0.02‑300微米。
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