[发明专利]一种可见光CCD测试仪及可见光CCD的测试方法

摘要

本发明公开了一种可见光CCD测试仪及可见光CCD的测试方法，包括卤素灯光源室、单色仪、积分球装置、分划板部、大数值孔径显微物镜装置、目标板、平行光管、三维调整架、高精度角速率转台和待测CCD；卤素灯光源室通过连接板用螺钉固定在单色仪的出入平行三光栅扫描单色仪的入口狭缝处；单色仪通过出入平行三光栅扫描单色仪的出口狭缝处用螺钉固定在积分球的入口处；积分球出口轴线与分划板部中分划板轴线重合，卤钨灯光源通过与连接板固定连接；光源聚焦透镜通过透镜压圈与透镜座固定连接；本发明提供的可见光CCD测试仪通过利用积分球装置和目标板进行配合检测，通过对结果进行复合计算，实现对可见光CCD的快速检测，成本低廉同时检测效率高。

主权项

一种可见光CCD测试仪，其特征在于，包括卤素灯光源室、单色仪、积分球装置、分划板部、大数值孔径显微物镜装置、目标板、平行光管、三维调整架、高精度角速率转台和待测CCD；卤素灯光源室包括卤钨灯光源、密封块、M3×8内六角圆柱头螺钉、连接板、光源支撑杆、叉式压板座、叉式压板、M5×4滚花高头螺钉和M4×12滚花高头螺钉、光源聚焦透镜、透镜座、透镜压圈、M4×10连接螺钉、连接板， 卤素灯光源室通过连接板用螺钉固定在单色仪的出入平行三光栅扫描单色仪的入口狭缝处；单色仪通过出入平行三光栅扫描单色仪的出口狭缝处用螺钉固定在积分球的入口处；积分球出口轴线与分划板部中分划板轴线重合，且分划板部中靠近积分球一侧分划板放置在积分球出口水平方向10mm位置处；大数值孔径显微物镜物镜轴线与分划板部中分划板轴线重合，且大数值孔径显微物镜放置在分划板中靠近积分球一侧分划板水平方向50mm位置处；三维调整架中7STA04500A电动平移台沿宽度中心7STA04500A电动平移台运行方向与大数值孔径显微物镜物镜轴线平行且在同一个垂面内，且7STA04500A电动平移台中远离电机一侧端面与靠近三维调整架大数值孔径显微物镜端面水平方向距离40mm；在卤素灯光源室中，叉式压板通过间隙配合与叉式压板座连接；叉式压板座通过顶丝与光源支撑杆固定连接；光源支撑杆通过螺纹配合与卤钨灯光源固定连接；卤钨灯光源通过与连接板固定连接；连接板通过过盈配合与密封块连接；光源聚焦透镜通过透镜压圈与透镜座固定连接；透镜座通过M5×4滚花高头螺钉与卤钨灯光源固定连接，单色仪中设有双刀单掷电源开关，双刀单掷电源开关通过螺丝与光谱仪底座固定连接；电源插座通过螺丝与光谱仪底座固定连接；连接器座通过螺丝与光谱仪底座固定连接；DB25Z连接器座通过螺丝与光谱仪底座固定连接；光谱仪底座通过螺钉与上箱固定连接；光谱仪底座通过螺丝与下箱固定连接；积分球通过螺钉与积分球支撑底座固定连接；在分划板部中，分划板与隔圈通过过盈配合连接；隔圈通过压圈与固定环固定连接；固定环通过螺钉与7SRA1100电动旋转台固定连接；斜板通过螺钉与竖板固定连接；竖板通过螺钉与7SRA1100电动旋转台固定连接；7SRA1100电动旋转台通过螺钉与连接底板固定连接；连接底板通过螺钉与7STA1050电动平移台固定连接；7STA1050电动平移台通过螺钉与第二平移台连接板固定连接；第二平移台连接板通过螺钉与第一平移台连接板固定连接；第一平移台连接板通过螺钉与7STM04125平移台固定连接；7STM04125平移台通过螺钉与平台固定连接；平台与支撑杆通过螺纹连接在一起；支撑杆与底座通过螺纹连接在一起；大数值孔径显微物镜通过物镜顶紧螺钉与支撑底座固定连接；在三维调整架中，光学平板通过螺钉与7SVM02120升降台固定连接；7SVM02120升降台通过螺钉与升降台连接板固定连接；升降台连接板通过螺钉与7STA1050电动平移台固定连接；7STA1050电动平移台通过螺钉与电动平移台连接板固定连接；电动平移台连接板通过螺钉与7STA04500A电动平移台固定连接；卤素灯光源室通过过渡板用螺钉与单色仪连接，单色仪通过过渡筒与积分球装置连接；分划板部安放在积分球装置的后面，且分划板部中的分划板的中心正对积分球装置中积分球的球心；大数值孔径显微物镜装置中的大数值孔径显微物镜安放在距离分划板50mm处，且分划板的中心在大数值孔径显微物镜的光轴上；通过调整三维调整架使得待测CCD的光敏面位于大数值孔径显微物镜的焦点位置,所述目标板、平行光管依次设置在光源和待测CCD之间，所述目标板上设置有目标板横条纹以及与目标板横条纹相互垂直的目标板竖条纹，目标板横条纹至少是6组；所述每组至少包括3对条纹；所述横条纹组之间的间隔是lni＝(p+i/n)×(l+l′)；其中：所述p是任意整数；所述i是大于等于1小于等于n的整数；所述n是目标板横条纹的组数；所述l是目标板上每条条纹的宽度；所述l′是目标板上条纹与条纹之间的间隔。