[发明专利]一种分束器、激光发生器及准分子激光退火设备在审
| 申请号： | 201510514826.4 | 申请日： | 2015-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN105108330A | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 田香军;陈艳 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/067 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供一种分束器、激光发生器及准分子激光退火设备，涉及显示技术领域，可一定程度减少分束器受到污染的几率，提高经过分束器后激光束的均一性。该分束器包括透过区域和反射区域，所述透过区域为通孔，所述反射区域设置于所述通孔的外围，其中，所述通孔，用于透射接收到的第一激光束；所述反射区域，用于反射接收到的第一激光束。该分束器可应用于激光发生器中，实现退火扫描工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分束器 激光 发生器 准分子激光 退火 设备 | ||
【主权项】：
一种分束器，其特征在于，包括透过区域和反射区域，所述透过区域为通孔，所述反射区域设置于所述通孔的外围，其中，所述通孔，用于透射接收到的第一激光束；所述反射区域，用于反射接收到的第一激光束。
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