[发明专利]一种热盘保护装置

摘要

一种热盘保护装置，解决了现有设备热盘侧壁与腔内其他零部件之间产生电弧放电现象。该装置包括热盘、陶瓷环、陶瓷套。所述陶瓷环放置在热盘上，陶瓷环的内圈表面与热盘的凸台外侧表面处于同心状态，陶瓷环的下表面与热盘的外圈上表面紧密贴合。再将陶瓷套由上而下套在热盘上。所述陶瓷套与陶瓷环设计有对接接口，对正后陶瓷套与陶瓷环的上表面处于同一平面，且陶瓷套与陶瓷环处于同心状态。此时，热盘凸台外侧表面与陶瓷环内圈表面之间存在一定间隙；陶瓷套内侧表面与热盘外侧表面之间也存在一定间隙。本发明利用了陶瓷耐高温且绝缘的特性，可以在高温条件下长时间使用，并填补电弧放电现象所需空间，起到阻碍电弧放电产生的作用。可广泛应用于半导体薄膜沉积的技术领域。

主权项

一种热盘保护装置，其特征在于：该保护装置包括热盘、陶瓷环、陶瓷套，所述陶瓷环放置在热盘上，陶瓷环的内圈表面与热盘的凸台外侧表面处于同心状态，陶瓷环的下表面与热盘的外圈上表面紧密贴合，再将陶瓷套由上而下套在热盘上；所述陶瓷套与陶瓷环设计有对接接口，对正后陶瓷套与陶瓷环的上表面处于同一平面，且陶瓷套与陶瓷环处于同心状态，此时，热盘凸台外侧表面与陶瓷环内圈表面之间存在一定间隙，而陶瓷套内侧表面与热盘外侧表面之间也存在一定间隙。