[发明专利]一种干涉型光纤加速度计探头及光纤加速度计系统有效

专利信息
申请号: 201510519101.4 申请日: 2015-08-21
公开(公告)号: CN105067838B 公开(公告)日: 2018-03-09
发明(设计)人: 王明超;王学锋;唐才杰;何哲玺;蓝天 申请(专利权)人: 北京航天控制仪器研究所
主分类号: G01P15/03 分类号: G01P15/03
代理公司: 中国航天科技专利中心11009 代理人: 范晓毅
地址: 100854 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种干涉型光纤加速度计探头及光纤加速度计系统,光纤加速度计探头利用外腔式法布里‑珀罗干涉仪作为敏感元件,包括外壳、质量块、压板、固定底座、弹性膜片、反射镜、配重金属块、光纤头。光纤加速度计系统包括宽谱光源、光纤、2×1耦合器、光纤加速度计探头,光谱检测模块,信号采集与处理系统。本发明采用白光干涉测量技术无需外部信号调制可直接测得待测加速度引起的腔长变化,且结构简单、灵敏度高、动态范围大,易于实现加速度计的多维应用。
搜索关键词: 一种 干涉 光纤 加速度计 探头 系统
【主权项】:
一种干涉型光纤加速度计探头,其特征在于:干涉型光纤加速度计探头包括外壳(1)、压板(2)、固定底座(3)、光纤夹具(4)、反射镜(5)、上质量块(6)、弹性膜片(7),下质量块(8)、配重金属块(9)和光纤头(10);其中上质量块(6)和下质量块(8)开有固定槽,对称的固定在弹性膜片(7)两侧,反射镜(5)固定在上质量块(6)的固定槽内,配重金属块(9)固定在下质量块(8)的固定槽内,压板(2)放在弹性膜片(7)上,与固定底座(3)连接;外壳(1)与固定底座(3)连接把上质量块(6)、下质量块(8)、弹性膜片(7)、压板(2)密封其中,光纤夹具(4)固定在外壳(1)上;干涉型光纤加速度计探头采用外腔式法布里‑珀罗干涉仪作为敏感元件;光纤头(10)为跳线插头,表面为氧化锆陶瓷材料,光纤头(10)固定在光纤夹具(4)内,并通过光纤夹具(4)中心通孔进入外壳(1),光纤头(10)与反射镜(5)组成干涉腔,腔长(d)为400‑800um;弹性膜片(7)采用激光刻蚀的方式加工两圈花瓣状分布的弧形阵列,弹性膜片(7)厚度为80‑120um。
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