[发明专利]一种基体表面的固体润滑复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201510519542.4 | 申请日： | 2015-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN106467959B | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 王永欣;姜欣;李金龙;鲁侠;陈建敏;薛群基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基体表面的固体润滑复合涂层。该复合涂层是由硬质相纳米晶CrC与润滑相a‑C组成，形成CrC/a‑C复合涂层，不仅保持了CrC硬质涂层高硬度、低磨损的特点，同时具有a‑C材料优异的自润滑特性。本发明采用多弧离子镀技术，以金属Cr为靶材，以高纯Ar为工作气体，C2H2为反应气体，在基体表面沉积该CrC/a‑C复合涂层，能够通过控制Cr靶电流与反应气体C2H2流量而调控复合涂层中CrC相与a‑C相的含量。该复合涂层的硬度高达31GPa，磨损率达10‑16m3/N·m量级，在大气环境中的摩擦系数低至0.2以下，对在高磨损、高摩擦环境下作业的基体能起到良好的防护作用，具有很好的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 复合涂层 基体表面 反应气体 固体润滑 多弧离子镀 自润滑特性 大气环境 防护作用 工作气体 摩擦系数 硬质涂层 低磨损 高磨损 高摩擦 高硬度 磨损率 纳米晶 润滑相 硬质相 靶材 沉积 高纯 制备 体能 金属 调控 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基体表面的固体润滑复合涂层的制备方法，其特征是：采用多弧离子镀技术，以金属Cr为靶材，以高纯Ar为工作气体，C2H2为反应气体，对表面清洗处理后的基体施加负偏压，对Cr靶施加靶电流，所述的基体负偏压为‑200～‑300V，所述的复合涂层由硬质相多晶CrC与润滑相纳米晶碳组成，并且以多晶CrC为基质，nc‑C镶嵌在该多晶CrC基质中，形成nc‑C/CrC复合涂层；在沉积固体润滑复合涂层之前，将基体放入多弧离子镀设备腔体，腔体通入高纯Ar，以金属Cr为靶材，对Cr靶施加电流，基体施加负偏压，在基体表面沉积Cr过渡层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510519542.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有有机官能团的聚倍半硅氧烷作为沥青改性剂的应用
- 下一篇：工具枢轴
- 同类专利
- 专利分类
