[发明专利]一种带孔方形基片的夹持传送装置

摘要

本发明属于半导体行业擦片清洗领域，具体地说是一种带孔方形基片的夹持传送装置，双向滑台安装在机械手安装座上，在双向滑台的两侧均设有安装在机械手安装座上的一字型手指安装座，每个一字型手指安装座上均连接有一字型手指；每个一字型手指的下方均设有L型手指，每个L型手指的一端均与双向滑台相连，另一端向上弯折形成L型；一字型手指及L型手指均随机械手安装座移动，两侧的一字型手指依次承载带孔方形基片，并通过由双向滑台驱动的同侧的L型手指实现夹持。相比真空吸附等取送方式，本发明抓取更牢固、不会发生基片在传送过程中有位置变化，解决了有孔及有液体的基片传送问题。

主权项

1.一种带孔方形基片的夹持传送装置，其特征在于：包括机械手安装座(1)、一字型手指安装座(2)、一字型手指(3)、双向滑台(4)及L型手指(5)，其中双向滑台(4)安装在机械手安装座(1)上，在该双向滑台(4)的两侧均设有安装在所述机械手安装座(1)上的一字型手指安装座(2)，每个所述一字型手指安装座(2)上均连接有一字型手指(3)；每个所述一字型手指(3)的下方均设有L型手指(5)，每个所述L型手指(5)的一端均与所述双向滑台(4)相连，另一端向上弯折形成L型；所述一字型手指(3)及L型手指(5)均随机械手安装座(1)移动，两侧的所述一字型手指(3)依次承载带孔方形基片(7)，并通过由所述双向滑台(4)驱动的同侧的L型手指(5)实现夹持。