[发明专利]一种制备铜锌锡硫薄膜的方法在审
申请号: | 201510522190.8 | 申请日: | 2015-08-24 |
公开(公告)号: | CN105185847A | 公开(公告)日: | 2015-12-23 |
发明(设计)人: | 韩贵;陆金花;王敏;李丹阳 | 申请(专利权)人: | 扬州大学 |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 卢亚丽 |
地址: | 225009 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种制备铜锌锡硫薄膜的方法,包括以下步骤:(1)基底清洗:将基底按次在皂液、丙酮、乙醇、去离子水超声清洗,清洗完之后在配制好的碱性清洗液中浸泡一定时间,吹干备用;(2)配制溶液:按次将含有铜、锌、锡、硫的化合物溶解在醇类溶剂里,配成一定浓度的溶液;(3)涂覆:可以采取旋涂、浸渍、提拉或卷对卷工艺制程;(4)预处理:将涂覆后得到的湿膜在电热板恒温数分钟,为达到理想的膜厚,可将步骤(3)和(4)循环若干次;(5)退火:在惰性气氛下高温退火得到铜锌锡硫薄膜。本发明铜锌锡硫薄膜的制备方法简单、成本低、整个工艺过程可控、无污染,适合规模生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 铜锌锡硫 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
一种制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,制备步骤如下:(1)基底清洗:将裁剪好的基底分别在皂液、丙酮、乙醇、去离子水中依次超声清洗,清洗完之后在配制好的碱性清洗液中浸泡一定时间,吹干备用;(2)配制溶液:依次将含有铜、锌、锡、硫的化合物溶解在醇类溶剂里,水浴或磁力搅拌直至溶液澄黄透明;(3)涂覆:将步骤(2)制备的溶液与基底进行涂覆;(4)预处理:将涂覆后得到的湿膜在电热板恒温数分钟,在步骤(3)和此步骤间进行几个循环,直至达到理想的膜厚;(5)退火:将步骤(4)得到的样品在惰性气氛下进行高温退火,得到铜锌锡硫薄膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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