[发明专利]一种制备铜锌锡硫薄膜的方法在审

专利信息
申请号: 201510522190.8 申请日: 2015-08-24
公开(公告)号: CN105185847A 公开(公告)日: 2015-12-23
发明(设计)人: 韩贵;陆金花;王敏;李丹阳 申请(专利权)人: 扬州大学
主分类号: H01L31/032 分类号: H01L31/032
代理公司: 南京知识律师事务所 32207 代理人: 卢亚丽
地址: 225009 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种制备铜锌锡硫薄膜的方法,包括以下步骤:(1)基底清洗:将基底按次在皂液、丙酮、乙醇、去离子水超声清洗,清洗完之后在配制好的碱性清洗液中浸泡一定时间,吹干备用;(2)配制溶液:按次将含有铜、锌、锡、硫的化合物溶解在醇类溶剂里,配成一定浓度的溶液;(3)涂覆:可以采取旋涂、浸渍、提拉或卷对卷工艺制程;(4)预处理:将涂覆后得到的湿膜在电热板恒温数分钟,为达到理想的膜厚,可将步骤(3)和(4)循环若干次;(5)退火:在惰性气氛下高温退火得到铜锌锡硫薄膜。本发明铜锌锡硫薄膜的制备方法简单、成本低、整个工艺过程可控、无污染,适合规模生产。
搜索关键词: 一种 制备 铜锌锡硫 薄膜 方法
【主权项】:
一种制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,制备步骤如下:(1)基底清洗:将裁剪好的基底分别在皂液、丙酮、乙醇、去离子水中依次超声清洗,清洗完之后在配制好的碱性清洗液中浸泡一定时间,吹干备用;(2)配制溶液:依次将含有铜、锌、锡、硫的化合物溶解在醇类溶剂里,水浴或磁力搅拌直至溶液澄黄透明;(3)涂覆:将步骤(2)制备的溶液与基底进行涂覆;(4)预处理:将涂覆后得到的湿膜在电热板恒温数分钟,在步骤(3)和此步骤间进行几个循环,直至达到理想的膜厚;(5)退火:将步骤(4)得到的样品在惰性气氛下进行高温退火,得到铜锌锡硫薄膜。
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