[发明专利]一种钽环上柱状把手的修复再利用方法

摘要

本发明提供了一种钽环上柱状把手的修复再利用方法，包括步骤：1)将钽环上的knob以及knob与钽环相焊接的部分从钽环上分离出来，获得半成品knob，使半成品knob的底部直径与成品knob的底部直径之间形成第一预设加工余量；2)将半成品knob表面上的附着物去除；3)将半成品knob的底部车削成具有第二预设加工余量的预设厚度以及预设直径，形成粗加工knob；4)对粗加工knob的表面进行酸洗，去除残留物质，获得成品knob。本发明的修复再利用方法通过加工使钽环与knob分离，将配件knob提取后进行修复处理，实现了knob的修复再利用，从而降低了半导体的生产成本。

主权项

1.一种钽环上柱状把手的修复再利用方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将钽环上的柱状把手以及所述柱状把手与所述钽环相焊接的部分从所述钽环上分离出来，获得半成品柱状把手，使所述半成品柱状把手的底部直径与成品柱状把手的底部直径之间形成第一预设加工余量；2)将所述半成品柱状把手表面上的附着物去除；3)将所述半成品柱状把手的底部车削成具有第二预设加工余量的预设厚度以及预设直径，形成粗加工柱状把手；4)对所述粗加工柱状把手的表面进行酸洗，去除残留物质，获得成品柱状把手。