[发明专利]测量装置和倾斜传感器装置

摘要

本发明提供能够以极高的精度检测可相对于基台部旋转的旋转部的旋转轴相对于水平面的倾斜形态的测量装置。测量装置(10)包括：基台部(12)；旋转部(13)，可相对于基台部旋转；液体容器(43)，固定设置于基台部，并用于封入形成自由表面(64)的液体(61)；照射光学系统(41)，固定设置于旋转部，朝向液体容器(43)的自由表面(64)照射检测光(44)；受光光学系统(42)，固定设置于旋转部，使受光元件(46)接收检测光(44)由自由表面(64)反射而产生的反射光(45)；以及运算控制部(65)，控制照射光学系统(41)和受光光学系统(42)，并根据来自受光元件(46)的反射光(45)的受光信号来运算旋转部的旋转轴的倾斜形态。

主权项

1.一种测量装置，其特征在于，包括：基台部；旋转部，设置成能够相对于上述基台部旋转；第一液体容器和第二液体容器，固定设置到上述基台部，并用于封入形成自由表面的液体；照射光学系统，固定设置于上述旋转部，并用于朝向上述第一液体容器和上述第二液体容器的上述自由表面照射检测光；受光光学系统，固定设置于上述旋转部，并用于使受光元件接收上述检测光由上述自由表面反射而产生的反射光；以及运算控制部，用于控制上述照射光学系统和上述受光光学系统，并根据来自上述受光元件的上述反射光的受光信号来运算上述旋转部的旋转轴的倾斜形态，上述照射光学系统具有用于对上述检测光形成测量图案的测量图案形成部；以及上述运算控制部根据上述受光元件取得的上述反射光的测量图案来运算上述旋转部的旋转轴的倾斜形态，其中，上述照射光学系统具有将测量图案的上述检测光形成为平行光束的准直透镜，上述基台部包括：上述第一液体容器和上述第二液体容器，上述第一液体容器在下侧设置有第一光开口部，上述第一光开口部在使上述旋转部位于上述基台部的铅垂方向上侧的状态下，接收从铅垂方向下侧朝向上述自由表面的上述检测光，上述第二液体容器在上侧设置有第二光开口部，上述第二光开口部在使上述旋转部位于上述基台部的铅垂方向上侧的状态下，接收从铅垂方向上侧朝向上述自由表面的上述检测光；第一引导光路和第二引导光路，上述第一引导光路包括用于将来自上述照射光学系统的上述平行光束引导向上述第一液体容器的上述第一光开口部的第一反射镜和第二反射镜，上述第二引导光路包括用于将来自上述照射光学系统的上述平行光束引导向上述第二液体容器的上述第二光开口部；以及光路切换部，设置在上述第一引导光路和第二引导光路上，用于选择性地切换上述第一引导光路和上述第二引导光路，使上述检测光和上述反射光通过上述第一引导光路和上述第二引导光路中的任意一方，而不使上述检测光和上述反射光通过上述第一引导光路和上述第二引导光路中的另一方，其中，来自上述照射光学系统的上述平行光束通过由上述光路切换部选择的上述第一引导光路或上述第二引导光路，被引导向上述受光光学系统并被上述受光光学系统接收。