[发明专利]一种薄膜晶体管、其制备方法、阵列基板及显示面板在审
| 申请号： | 201510524296.1 | 申请日： | 2015-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN105140296A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 刘翔 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管、其制备方法、阵列基板及显示面板，其中，薄膜晶体管，包括：衬底基板，衬底基板上的有源层、有源层上的源漏电极，还包括：设置在所述源漏电极上的氧化保护层；贯通所述氧化保护层的开口，所述开口对应所述源漏电极之间的有源层区域。可以避免漏电极被氧化，从而提升薄膜晶体管的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 制备 方法 阵列 显示 面板 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，包括：形成所述薄膜晶体管的有源层；形成所述薄膜晶体管的源漏电极层薄膜；形成所述薄膜晶体管的氧化保护层薄膜；形成所述源漏电极层薄膜对应所述有源层的沟道区域的第一开口；形成所述氧化保护层薄膜对应所述有源层的沟道区域的第二开口；所述第一开口和所述第二开口是通过一次构图工艺形成的。
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