[发明专利]半导体设备用波纹管密封性能检验工装

摘要

半导体设备用波纹管密封性能检验工装，它主要包括上法兰盖板、双头螺柱、底部盲板及密封圈等。使用时，在波纹管的法兰孔位中分别穿入双头螺柱，用六角螺母固定使波纹管处于自然长度状态，避免了抽气时波纹管的负压收缩变形，对波纹管本身起到保护作用，再将密封圈安装在波纹管两端的法兰密封槽中，然后压在底部盲板上，再将上法兰盖板压在波纹管的上法兰上，最后在上法兰盖板的接口处连接检漏仪进行抽气检漏操作，记录检漏仪检测的波纹管的真空度结果，最后判定波纹管的密封性能是否合格。本工装适用于焊接圆形、椭圆形、三角形等任意形状法兰的波纹管，具有通用性。有效的提高了检漏的可靠性，减少了检漏时间，同时排除了波纹管存在漏点的可能性，从更深层意义上来说提高了设备的总产能。

主权项

半导体设备用波纹管密封性能检验工装，它包括上法兰盖板，其特征在于：所述上法兰盖板通过设有六角螺母的双头螺柱与底部盲板固定连接；所述上法兰盖板及底部盲板两端的法兰密封槽与双头螺柱连接处分别装有密封圈；所述上法兰盖板与底部盲板同心，其上安装波纹管。