[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201510527412.5 | 申请日： | 2015-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN105088146B | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 孙俊民;崔伟;张鑫狄;付文悦;冯长海 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 宋珊珊 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀装置，包括蒸镀室；设置于所述蒸镀室内的载架，所述载架用于承载被蒸镀的基板；固定于所述载架下方的纵向轨道；与所述纵向轨道连接的第一横向轨道且所述第一横向轨道可沿所述纵向轨道上下移动靠近或远离载架；设置于所述蒸镀室内的多个加热源板，每个所述加热源板可移动至所述第一横向轨道之上与之连接且随所述第一横向轨道上下移动。本发明的蒸镀装置，与现有技术相比，解决了多个加热源板和载架之间的距离是固定的导致蒸镀效果不可控的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀室；设置于所述蒸镀室内的载架，所述载架用于承载被蒸镀的基板；固定于所述载架下方的纵向轨道；与所述纵向轨道连接的第一横向轨道且所述第一横向轨道可沿所述纵向轨道上下移动靠近或远离载架；设置于所述蒸镀室内的多个加热源板，每个所述加热源板可移动至所述第一横向轨道之上与之连接且随所述第一横向轨道上下移动；多个所述加热源板分层设置且每层为一个所述加热源板；与所述加热源板一一对应的第二横向轨道，每层所述加热源板位于与之对应的第二横向轨道之上；所述第一横向轨道在沿所述纵向轨道上下移动时可与每层所述第二横向轨道相连且每层所述加热源板可沿与之对应的所述第二横向轨道和与所述第二横向轨道相连的第一横向轨道移动。
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