[发明专利]一种直拉单晶生产中主加热器的安装方法有效
| 申请号： | 201510530605.6 | 申请日： | 2015-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN106480497B | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 常麟;刘大力;赵银光;黄龙辉;朱秦发;孙媛 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直拉单晶生产中主加热器的安装方法，使主加热器与电极之间以直接嵌入的方式连接。将主加热器和电极的接触面均加工成直壁状，其中主加热器的接触面的一侧上部加工出斜面结构，电极内表面中相应侧面的上部也加工出斜面结构，二者组装后，利用主加热器自身重力，主加热器的外表面与电极内表面严密贴合。提高直拉单晶生产中主加热器的安装效率和结构稳定性。本发明的方法中主加热器与电极连接、拆卸简便高效，发热器件结构更加稳定，不易打火。 | ||
| 搜索关键词： | 主加热器 直拉单晶 电极内表面 斜面结构 电极 加工 结构稳定性 安装效率 电极连接 发热器件 嵌入的 拆卸 打火 贴合 直壁 生产 组装 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种直拉单晶生产中主加热器的安装方法，使主加热器与电极之间以直接嵌入的方式连接，其特征在于，将主加热器和电极的接触面均加工成直壁状，其中主加热器的接触面的一侧上部加工出斜面结构，电极内表面中相应侧面的上部也加工出斜面结构，二者组装后，利用主加热器自身重力，主加热器的外表面与电极内表面严密贴合。
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