[发明专利]摩擦发电装置及其制造方法

摘要

本发明公开了一种摩擦发电装置及其制造方法，属于电子技术领域。所述摩擦发电装置包括相对设置的第一基板及第二基板，在第一基板面向第二基板的一侧上，依次形成有第一电极和高分子绝缘层；在第二基板面向第一基板的一侧上，形成有第二电极；其中，第一电极与第二电极均由柔性导电材质制成，第一基板和第二基板的材质均由柔性绝缘材质制成，高分子绝缘层与第二电极能够摩擦发电。本发明解决了摩擦发电装置无法适用于柔性设备的问题，并采用表面粗糙的柔性材料来提高器件性能，实现了使得摩擦发电装置适用于柔性设备的效果，本发明用于摩擦发电。

主权项

一种摩擦发电装置，其特征在于，所述摩擦发电装置包括：相对设置的第一基板和第二基板，在所述第一基板面向所述第二基板的一侧上，依次形成有第一石墨烯薄膜、第一电极和高分子绝缘层；在所述第二基板面向所述第一基板的一侧上，依次形成有第二石墨烯薄膜和第二电极；所述第一基板与所述第二基板之间设置有至少两个碳纳米管柱，每个所述碳纳米管柱的一端与所述第一基板和所述第二基板中的一个基板相接触，每个所述碳纳米管柱的另一端与所述第一基板和所述第二基板中的另一个基板上形成的石墨烯薄膜相接触；其中，所述第一电极与所述第二电极均由柔性导电材质制成，所述第一基板和第二基板的材质均由柔性绝缘材质制成，所述高分子绝缘层与所述第二电极能够摩擦发电。