[发明专利]石墨烯花与其形成方法及复合材料有效
申请号: | 201510532843.0 | 申请日: | 2015-08-27 |
公开(公告)号: | CN106379890B | 公开(公告)日: | 2018-09-11 |
发明(设计)人: | 黄昆平;张志振;寇崇善 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | C01B32/184 | 分类号: | C01B32/184;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 孙梵 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明实施例提供石墨烯花的形成方法,包括:将碳氢气体与辅助气体导入变压式耦合等离子体设备;以及以变压式耦合等离子体设备施加中频电磁波至碳氢气体与辅助气体,使碳氢气体解离后再结合以形成石墨烯花,其中碳氢气体的解离率大于95%。 | ||
搜索关键词: | 石墨 与其 形成 方法 复合材料 | ||
【主权项】:
1.一种石墨烯花的形成方法,包括:将碳氢气体与辅助气体导入变压式耦合等离子体设备;以及以该变压式耦合等离子体设备施加中频电磁波至该碳氢气体与该辅助气体,使该碳氢气体解离后再结合以形成石墨烯花,其中该碳氢气体的解离率大于95%,其中该中频电磁波的频率为100kHz至3MHz。
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