[发明专利]一种防止晶圆Map图移位的方法有效
| 申请号： | 201510535712.8 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN106483443B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 李亮;杨颖超;李鑫 | 申请（专利权）人： | 北京确安科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100094 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在晶圆测试过程中防止Map图移位的方法，在晶圆测试之前，做PTPA时，不用探针台设备常规的方法，而是采用手动选择模式找针，选定距离最远的特定两个site的探针做为定位site。该方法解决了多site并行测试过程中Map图移位的发生，是一个有效、可靠的预防方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 map 移位 方法 | ||
【主权项】：
1.一种防止晶圆Map图移位的方法，其特征在于，所述方法包括：/n在多site并行晶圆测试之前，做PTPA时，把探针台的探卡找针方式选定为MANUALSELECT；/n其中，探针定位site选距离最远的两个site为定位site。/n
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