[发明专利]一种实现干涉测量快速聚焦的方法有效
申请号: | 201510535897.2 | 申请日: | 2015-08-27 |
公开(公告)号: | CN105158892B | 公开(公告)日: | 2017-09-12 |
发明(设计)人: | 夏勇;孙焱群;唐寿鸿 | 申请(专利权)人: | 镇江超纳仪器有限公司(中外合资) |
主分类号: | G02B21/36 | 分类号: | G02B21/36;G02B21/24;G02B7/36 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人: | 张弛 |
地址: | 212000 江苏省镇江市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种实现干涉测量快速聚焦的方法。在聚焦过程中,使用干涉显微系统在Z方向上扫描样品获取图像,运用本发明的聚焦函数方法,找到灰度差和最大的那幅图像,该图像对应的位置就是聚焦点。本发明的聚焦方法相对于传统方法而言,运算时间成倍减少,干涉显微镜系统的操作流程也得到简化。并且新型聚焦评价函数无需考虑区域相关性,在数据处理过程中,可采用隔行计算,减少计算量的同时,还不影响评价值的有效性。 | ||
搜索关键词: | 一种 实现 干涉 测量 快速 聚焦 方法 | ||
【主权项】:
一种实现干涉测量快速聚焦的方法,其特征在于:提供光学干涉显微镜;设置被测表面图像的横向坐标为x,y坐标,光学干涉显微镜靠近或者远离被测表面图像的坐标为z坐标;干涉显微镜在Z方向上扫描获取图像;找到灰度差和最大的那幅图像,该图像对应的位置就是聚焦位置,并通过下式聚焦评价函数计算灰度差和F(k),F(k)=ΣxMΣyN|g(k)(x,y)-g(k+1)(x,y)|]]>其中,设第k幅图像中某点(x,y)处的灰度值为g(k)(x,y),图像为M×N个像素;评价值最大的图所在位置就是该图像扫描过程中寻找的聚焦位置。
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