[发明专利]一种实现干涉测量快速聚焦的方法有效

专利信息
申请号: 201510535897.2 申请日: 2015-08-27
公开(公告)号: CN105158892B 公开(公告)日: 2017-09-12
发明(设计)人: 夏勇;孙焱群;唐寿鸿 申请(专利权)人: 镇江超纳仪器有限公司(中外合资)
主分类号: G02B21/36 分类号: G02B21/36;G02B21/24;G02B7/36
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 代理人: 张弛
地址: 212000 江苏省镇江市*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种实现干涉测量快速聚焦的方法。在聚焦过程中,使用干涉显微系统在Z方向上扫描样品获取图像,运用本发明的聚焦函数方法,找到灰度差和最大的那幅图像,该图像对应的位置就是聚焦点。本发明的聚焦方法相对于传统方法而言,运算时间成倍减少,干涉显微镜系统的操作流程也得到简化。并且新型聚焦评价函数无需考虑区域相关性,在数据处理过程中,可采用隔行计算,减少计算量的同时,还不影响评价值的有效性。
搜索关键词: 一种 实现 干涉 测量 快速 聚焦 方法
【主权项】:
一种实现干涉测量快速聚焦的方法,其特征在于:提供光学干涉显微镜;设置被测表面图像的横向坐标为x,y坐标,光学干涉显微镜靠近或者远离被测表面图像的坐标为z坐标;干涉显微镜在Z方向上扫描获取图像;找到灰度差和最大的那幅图像,该图像对应的位置就是聚焦位置,并通过下式聚焦评价函数计算灰度差和F(k),F(k)=ΣxMΣyN|g(k)(x,y)-g(k+1)(x,y)|]]>其中,设第k幅图像中某点(x,y)处的灰度值为g(k)(x,y),图像为M×N个像素;评价值最大的图所在位置就是该图像扫描过程中寻找的聚焦位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于镇江超纳仪器有限公司(中外合资),未经镇江超纳仪器有限公司(中外合资)许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510535897.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code