[发明专利]一种等离子体设备

摘要

本发明提供一种电极结构，该电极结构包括相对布置的接地电极和激发电极；其中，激发电极经由匹配器与电源电气连接；接地电极远离激发电极的一端设置有进气单元，并且接地电极设置有贯穿其的多个通孔，进气单元经由多个通孔将气体排放到接地电极的另一端；并且接地电极靠近激发电极的另一端的端面上设置有朝向激发电极突出的凸起部。通过这样的结构，利用在接地电极上设置的朝向激发电极突出的凸起部，可以在等离子形成之前，提供非常强的电场，之后再通过等离子的扩散性和导电性，以及射频的趋肤效应，使得接地电极变成一个等效的平面电极，最终形成稳定的辉光放电，以对两个电极之间的样品进行稳定的处理。

主权项

一种等离子体设备，该等离子体设备包括电极结构，所述电极结构包括相对布置的接地电极和激发电极；其特征在于，所述激发电极经由匹配器与电源电气连接；所述接地电极靠近所述激发电极的所述另一端的端面上设置有朝向所述激发电极突出的凸起部。